擴散爐爐體由控制系統、進出舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統組成。

擴散爐應用于很多生產廠家，那么你知道擴散爐的爐體是怎么構成的嗎？擴散爐爐體由控制系統、進出舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統組成。

控制系統

控制部分包括：溫度控制器、電源組件、超溫保護組件和系統控制。

擴散爐網絡控制

系統控制部分有四個獨立的計算機控制單元，分別控制每層爐管的推舟、爐溫和氣路，是擴散/氧化系統的控制中心。

輔助控制系統，包括推舟控制裝置、保護電路、電路切換控制、三相電源指示燈、照明、凈化和抽氣開關等。

更先進的擴散爐控制系統已更新或升級為微機控制，管機與主機之間的通信通過串行端口RS232或網絡電纜進行。大多數控制系統軟件基于windows系統，其實用性和可操作性大大提高。可實現日志記錄、曲線記錄、程序編輯、遠程控制等多種功能。

進出舟系統

水平擴散爐進出舟有兩種方式：1）懸臂槳系統；2） 軟著陸系統。

懸臂槳系統的結構相對簡單。在碳化硅槳葉將舟和硅晶片運送到石英爐管中之后，它留在石英爐管內，直到工藝過程結束。碳化硅槳緩慢地將舟和硅晶片運送回初始位置。懸臂槳葉系統的缺點是槳葉對爐管的溫度均勻性有一定影響。此外，工藝氣體也會沉積在槳葉上并影響顆粒。

軟著陸系統比懸臂槳葉系統更先進。碳化硅槳葉進入石英工藝爐管后，槳葉會自動下沉，放下石英舟和硅晶片，然后緩慢運行回到原點。最后，石英爐管的門將自動關閉。軟著陸系統的優點是，碳化硅槳葉對空腔沒有影響，因此溫度均勻性更好，減少了工藝氣體在碳化硅槳上的沉積，從而減少了顆粒。

推舟凈化柜頂部裝有照明燈；前部為水平層流高效過濾器、四層推舟導螺桿、導軌輔助傳動系統和碳化硅懸臂槳座。導螺桿右端安裝有驅動步進電機，導軌兩端為限位開關。機柜下部配有控制電路適配器板和凈化風扇。

擴散爐爐體加熱系統

爐子加熱系統有六層。頂層裝有水冷散熱器和排熱風扇。每層加熱爐體還配備有水冷系統，以隔離每層爐管溫度的相互影響。排氣室頂部設有出氣口，與外部負壓排氣管連接后，可帶走過程中殘留的廢氣。中間部分分為四層，放置四個加熱爐體。每層由四個傾斜支架支撐并固定在加熱爐體上，其位置在安裝過程中與推拉舟系統-導螺桿、導軌輔助傳動系統、碳化硅懸臂槳系統或軟著陸系統對齊。

氣體控制系統

氣源柜分為五層。頂部設有毒物排放口，用于排放源更換過程中泄漏的有害氣體。機柜頂部設有三通工藝氣體和單向壓縮空氣入口。減壓閥和截止閥安裝在端口下方，用于控制和調節入口壓力。與氣路相對應，每層均配備相應的電磁閥、氣動閥、過濾器、單向閥、質量流量控制器、DCE源瓶和冷阱。機柜底部配有質量流量（MFC）控制器電源、控制開關、保險絲和其他電路傳輸板，以及設備主電源的進線傳輸板。